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Das im Jahr 1998 fertiggestellte Zentrum gliedert sich in zwei Gebäudeteile, einem Reinraumgebäude und einem Büro-/Labor-Gebäude. Sie sind im rechten Winkel miteinander verbunden und werden von den beiden Lehrstühlen HLT und OE gemeinsam genutzt.

Das 4-geschossige Reinraumgebäude liegt in Ost-West-Richtung, das 3-geschossige Büro-/Labor-Gebäude mit einem Untergeschoss in Nord-Süd-Richtung. Auf dem Flachdach wurde eine Fotovoltaik-Anlage insatlliert. Die hier gewonnenen Energie wird ohne Zwischenspeicherung direkt für die elektrischen Verbraucher genutzt.